
不锈钢管在半导体行业的应用不锈钢管,特别是高纯度无缝不锈钢管(316L、316L EP、BA)是半导体制造工厂(Fab)中不可缺少的关键基材,执行着主要...
不锈钢管在半导体行业的应用
不锈钢管,特别是高纯度无缝不锈钢管(316L、316L EP、BA)是半导体制造厂(Fabs)中不可或缺的关键基材,主要执行输送超纯气体、化学品和超纯水的任务。
半导体芯片生产对污染极其敏感:
1、颗粒物污染
2. 金属污染
3、水分污染
4.有机物污染(TOC)
即使是纳米级的杂质也会导致整个晶圆失效。
因此,交通系统必须具备:
1.超高纯度
2.极低的杂质排放量
3.耐腐蚀
4.无颗粒形成
5、长期稳定工作能力
而电抛光(EP)316L不锈钢管是现在的主流解决方案。
主要应用场景:
1.特种气体供应系统
2.超纯水系统
3、化学品供应系统
4.真空系统
半导体行业广泛使用的不锈钢管标准
| 名称 | 标准型 |
| 材质 | 316L |
| 标准型 | ASTM A269 |
| 超高纯度标准 | 半F20 |
| 表面处理 | B.A.,E.P. |
| 粗糙度 | Ra≤0.25微米 |
| 焊接方式 | 轨道焊接 |
| 清洁度等级 | 100 级/ISO 5 |